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检测分析设备

Detection and analysis equipment

金属电子束蒸发台

设备名称:金属电子束蒸发台

设备厂商:台湾聚昌

工作原理:电子束斑聚焦到蒸发材料表面,使局部达到蒸发或升华温度,蒸发出来的原子沉积在基片表面,形成致密的金属薄膜。

用途:蒸发Ti,Al,Ni,Cr,Pt,Au,Ag、Mo等金属

技术指标:

样品尺寸:67*2英寸、20*4英寸、7*6英寸

基板加热温度:室温-250℃,控温精度1℃

极限真空:2×10-7 torr

蒸发均匀性:<±5%

工艺特点:

一炉可以依次蒸镀6钟不同金属;

可以蒸镀高熔点金属Pt、W等



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