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微纳加工平台

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     微纳加工平台主要进行氮化物hot88器件的制备与工艺研究,同时将对氮化物hot88材料与器件的深入研发给予全方位支持,立足行业,回馈社会,本平台将秉承“专业、稳定、高效、合作共赢”的理念,为广大科研单位和企业提供高品质服务。

     主要服务内容包括:氮化物hot88器件开发以及材料的清洗、光刻、刻蚀、镀膜、退火等工艺设计与研究。

     本平台对外服务不到两年的时间内,为行业提供委托加工服务近百次,为行业解决技术难题,提供稳定工艺支撑,收到了行业内的一直好评。



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